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精密定位系統(tǒng)/平移臺/掃描

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多軸壓電納米位移臺
多軸壓電納米位移臺可搭配線性、垂直、旋轉(zhuǎn)位移臺臺，具備大行程（10-150mm）,高分辨,高速的特點。

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高精度垂直壓電位移臺
高精度垂直壓電位移臺采用雙Crossfixx™超聲壓電電機(jī)并聯(lián)，負(fù)載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測等場景。

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微型線性壓電位移臺
微型線性壓電位移臺憑借其超緊湊設(shè)計、納米級精度、高速度和Crossfixx™超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)，在多個高精度運動控制領(lǐng)域具有優(yōu)勢。

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納米精度電動平移臺
納米精度電動平移臺。電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機(jī)和控制器。驅(qū)動電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

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壓電馬達(dá)線性平移臺
U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺。該平移臺采用無聲的超聲波馬達(dá)，超聲波馬達(dá)是通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進(jìn)給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺的Z大速度可達(dá)到400m

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單軸壓電掃描臺/納米平移臺
單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。

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超緊湊線性平移臺（亞微米）
超緊湊線性平移臺（亞微米）是集動力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機(jī)械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上Z小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動、非接觸式磁感應(yīng)陣列位置傳感器和PID控制器。

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